更新時間：2026-01-19
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一、Alicat微小流量質量流量計產品特點
操作簡單
Alicat 質量流量計(M系列)作為一個獨立設備，帶有多功能數字顯示屏，用戶可通過面板按鈕調節參數，無需連接但腦或其他任何復雜的編程軟件。
測量精確
標準型Alicat 質量流量計(M系列)的精度為±(0.8% Rdg + 0.2% F.S.)，增加高精選配項則可達±(0.4% Rdg + 0.2% F.S.)。
高性價比
Alicat微小流量質量流量計(M系列)本身耗電極小，從而降低了系統運營的成本，且相比與同類產品，其壓損亦相對較小，降低壓損意味著更多氣體進入到系統中，而不是停留在測量儀器中。除質量流量外，M系列質量流量計還可同時測量體積流量、壓力和溫度，您無需另外采購和安裝其它設備。使用累加器(TOT)功能可顯示流經氣體總量，是監控整個應用過程及減少氣體浪費的有效的方法。
性能
M系列質量流量計可測量從0.5SCCM到3000SLPM的滿量程的任何流量，配有多種模擬信號輸出及RS-232數字信號輸出。該系列質量流量計亦有便攜式型號(MB系列)，采用一塊普通9伏電池供電，即成為一款二等標準流量校準設備。
反應靈敏
10毫秒典型反應時間，意味著Alicat 質量流量計的響應速度比您的眨眼速度至少快兩倍。
體積嬌小
Alicat微小流量質量流量計嬌小的本體使其極易被安裝于系統中或作為一款單獨的校準設備隨身攜帶。
高重復性
Alicat 的技術使得質量流量計幾乎沒有可移動部件，所有零件都被內置固定，腔體內不存在物理變化，從而具有較高的*性和重復性。M系列質量流量計的重復性可達±0.2% F.S。
值得信賴
現有超過90000臺Alicat設備正被使用在不同領域中，如：科學研究、泄漏測試、環境監測、真空鍍膜、半導體、汽車制造、光伏、燃料電池、光纖制造、計量以及過程工藝氣體測量等。所有Alicat 設備均具有NIST可溯源校準證書。
二、Alicat微小流量質量流量計性能參數
| 指標 | ALICAT氣體質量流量計 |
| 量程 | 0.5SCCM，1SCCM，2SCCM，5SCCM，10SCCM，50SCCM，100SCCM....2000SLPM，3000SLPM，4000SLPM |
| 精度 | ±0.8%讀數±0.2%滿量程（可選高精度：±0.4%讀數±0.2%滿量程） |
| 重復性 | ±0.2% |
| 量程比 | 200:1 |
| 響應時間 | 10ms |
| 標準狀態(STP) | 25℃&14.696PSIA （101.325kPa） |
| 溫度范圍 | -10～50 |
| 零點漂移 | 0.02％ |
| 量程漂移 | 0.02％ |
| 濕度范圍 | 0-100% |
| 測量流量范圍 | 128％（過流率） |
| 大耐壓 | 145psi |
| 輸出信號（數字） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 數字信號可選 | RS485，Modbus，Profibus |
| 輸出信號（模擬） | 質量流量、體積流量、壓力和溫度 |
| 模擬信號可選 | 0-5VDC,1-5VDC,0-10VDC，4-20mA |
| 電氣連接 | 8針/9針/15針（根據不同類型流量計而定） |
| 供電電壓 | 7-30VDC（4-20mA輸出時為：15-30VDC） |
| 供電電流 | 0.035A（4-20mA輸出時為：0.055A） |
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